6. Комплекс микроструктурирования поверхности оптических материалов
Ответственный:
д. т. н. Корольков Виктор Павлович,
тел.: (383) 3333-091; факс: (383) 3333863;
e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Общая характеристика:
Экспериментальный комплекс микроструктурирования поверхности оптических материалов обеспечивает возможность напыления покрытий, формирование микрорисунка фотошаблонов, микроструктуры рельефно-фазовых оптических элементов на поверхности оптических подложек.
Комплекс позволяет изготавливать фотошаблоны общего назначения, бинарные и многоуровневые дифракционные оптические элементы, конформальные корректоры аберраций лазерных кристаллов, травить кварцевые подложки на глубину до 5 мкм, напылять плёнки хрома и меди на подложки диаметром до 350 мм, изготавливать экспериментальные образцы прецизионных подложек, линз и призм, осуществлять резку оптических кристаллов.
Состав:
- Установка магнетронного напыления металлов АТС-220ОН;
- Установка реактивного ионного травления Plasmalab 80Plus;
- Круговая лазерная записывающая система CLWS-300IAE;
- Чистая комната участка фотолитографии с комплексом приборов микроскопического и профилометрического контроля;
- Оптический участок с комплексом технологического и метрологического оборудования по изготовлению уникальных оптических элементов.
5. Комплекс прецизионного прототипирования
Ответственный:
Кожевников Михаил Леонидович
тел.: (383) 330-89-17;
факс: (383) 3333863;
e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Общая характеристика:
Комплекс прецизионного прототипирования проводит полный цикл работ по изготовлению опытных образцов и опытных партий изделий по чертежам заказчика. Поддержка собственной базы экспериментального производства сделала ЦКП ИАиЭ СО РАН незаменимым партнёром по разработке приборов и технологического оборудования для ряда российских научно-производственных организаций, ограниченных в возможностях использования импортного оборудования. Сосредоточение современного технологического оборудования в ЦКП при академическом институте в сочетании с высочайшей квалификацией операторов создаёт центры компетенции, которые становятся базой для делового сотрудничества с российскими научно-производственными предприятиями и помогает им перейти на новые технологии и выпуск новой продукции.
Состав комплекса:
- Обрабатывающий центр с ЧПУ ВХ300А (Pinnacle Machine)
- Станок круглошлифовальный MG1432E/1000
- Станок токарный с ЧПУ НТС45150
- Станок универсальный заточной "РР-50+50D+50F"
4. Комплекс для исследований материалов методами терагерцовой спектроскопии
Ответственный:
к. ф.-м. н. Анцыгин Валерий Дмитриевич,
тел. (383) 3308453; факс: (383) 3308878;
e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Общая характеристика:
Широкополосная терагерцовая (ТГц) спектроскопия предназначена для:
- исследования полупроводниковых материалов и структур, в том числе систем пониженной размерности, без нарушения их функционирования;
- бесконтактных неинвазивных исследований конформационных превращений биологических объектов под влиянием окружающей среды и при взаимодействии друг с другом;
- изучения внутренней структуры и идентификации сложных биологических молекул (аминокислот, полипептидов, белков, ДНК и РНК);
- неинвазивной диагностики, в т. ч. в медицине;
- обнаружения взрывчатых, наркотических и других опасных веществ.
Терагерцовые спектрометры с накачкой и регистрацией ТГц-излучения на основной (λ=1550 нм) и второй гармонике (λ=775 нм) импульсных (~100 фс) эрбиевых волоконных лазеров. Генерация терагерцового излучения осуществляется за счёт эффекта оптического выпрямления или эффекта Дембера, а регистрация напряжённости терагерцового поля - поляризационно-оптическим методом.
Спектрометры обеспечивают измерения отражения и пропускания
- спектральный диапазон: 0,1-2,5 ТГц
- спектральное разрешение ≤10 ГГц
- динамический диапазон
- амплитуды терагерцового поля ≥1000
- длина волны лазера накачки, нм 775, 1550
- длительность лазерного импульса, фс 100
3. Комплекс для исследования структуры материалов на нанометровых масштабах
Ответственный:
д. ф.-м. н., проф. Малиновский Валерий Константинович,
тел. (383) 3309048; факс: (383) 3333863;
e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Комплекс включает следующее основное оборудование:
- Спектрометр ИК-Фурье Vertex 80V
- Тройной Рамановский спектрометр TR777AS с лазером Torus 750 и цифровой системой многоканальной регистрации спектра Spec-10 System
- Дифференционный сканирующий калориметр динамического тепловоого потока с системой охлаждения LN2
- Спектрометр JRS TFP-1в комплекте с источником излучения EXLSR-532-200-CD
Тройной Рамановский спектрометр Спектрометр ИК-Фурье Vertex 80V
2. Комплекс для создания и исследования оптических и нелинейно-оптических свойств нанокомпозитных сред
Ответственный:
к. ф.-м. н. Микерин Сергей Львович,
тел. (383) 3333174; факс: (383) 330-88-78;
e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Общая характеристика:
Комплекс обеспечивает возможность создания нанокомпозитных сред при лазерном испарении мишени в буферном газе, инфильтрации наноразмерных объектов в матрицы или пористые вещества, фотомодификации сред при лазерном воздействии, исследование оптических спектров сред, спектров комбинационного рассеяния, а также нелинейно-оптических свойств нанокомпозитных сред методами Z-сканирования, пробного поля, четырехфотонного рассеяния в широком спектральном диапазоне.
Комплекс включает следующие установки:
Лазерный быстродействующий элипсометр
Электронный микроскоп Hitachi TM-3000
Ближнепольный и атомно-силовой микроскоп «Nanonics MultiView 2000TM»
Спектрофлюориметр Cary Eclipse
Двухканальный спектрофотометр UV-Probe 2000 (Shimadzu)
Лазер Verdi - V10
1. Комплекс изготовления и тестирования оптоволоконных компонентов
Ответственный:
к. ф.-м. н. Терентьев Вадим Станиславович,
тел. (383) 3332003; факс: (383) 3333863;
e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Общая характеристика:
Комплекс обеспечивает возможность сборки оптоволоконных систем из компонентов и тестирования компонентов/систем в широком спектральном диапазоне.
Состав:
- Станция вытяжки оптического волокна / ответвителей Lightel CW-200B
- Приборы и аксессуары для обработки оптоволокна: скалыватель, стриппер, сварочный аппарат, восстановитель покрытия
- Измерительные приборы: анализатор оптического спектра (0,6-1,6 мкм), измеритель мощности (до 30 Вт), осциллограф
- Оптоволоконные компоненты: ответвители, мультиплексоры, WDMs и т. п.
- Диодные и оптоволоконные лазеры (0,98; 1,06; 1,24; 1,48; 1,55 мкм)
- Лазерный спектрометр на основе Ti:Sa лазера с накачкой Ar лазером (перестройка 850-1000 нм, ширина линии 10 МГц, автоскан 5 ГГц)
Оборудование комплекса: стенд подготовки и тестирования оптоволоконных компонентов, станция Lightel CW-200B, лазерный спектрометр.
Комплекс представлен двумя стендами:
Стенд подготовки и тестирования оптоволоконных компонентов
Стенд для измерения параметров фемтосекундного лазера
Кратко о ЦКП «Спектроскопия и оптика»
Центр коллективного пользования "Высокоразрешающая спектроскопия газов и конденсированных сред" при ИАиЭ СО РАН функционирует с 2002 г. За это время в его работе участвовали десятки научных групп из многих институтов Сибири, центральных областей России и зарубежных стран. Результаты, полученные с использованием оборудования ЦКП, нашли отражение более чем в 500 публикациях и доложены на десятках научных форумов.
Благодаря поддержке приборной комиссии СО РАН ЦКП за десятилетие пополнился новым уникальным оборудованием, что позволило на мировом уровне вести научные и прикладные исследования по приоритетным направлениям оптики и нанофотоники, включая фундаментальные основы лазерных и оптических технологий.
Большая часть работ, выполняемых в ЦКП, связана с изучением свойств новых (в том числе наноструктурированных) материалов, фотонных кристаллов, сенсоров и систем диагностики (в т. ч. на основе волоконной оптики). Исследования в этих областях открывают новые возможности для создания суперпризм, волноводов, оптических фильтров, микрорезонаторов, метаматериалов и т. д. Появляются новые перспективы в управлении оптическим излучением и его свойствами, в создании принципиально новых схем волоконных лазеров.
Все работы в ЦКП «Спектроскопия и оптика» курируются специалистами мирового уровня. Регулярно проводятся совместные семинары с участием сотрудников институтов СО РАН.
В 2012–2013 гг. ИАиЭ СО РАН как один из учредителей ЦКП выделил, отремонтировал и запустил в эксплуатацию помещения, специально предназначенные для компактного размещения оборудования ЦКП. Общая площадь помещений – 200 кв. м. Они расположены в пристройке к Институту, показанной на фотографии.
На двух этажах части здания, размещено недавно приобретённое для ЦКП оборудование. На первом этаже собраны технологические напылительные установки, стенд с фемтосекундным лазером. Там же на площади 35 кв. м. размещены микроскопы, профилометры и технологическое оборудование сектора микро- и наноструктурирования НГУ.
Оборудование сектора микроструктурирования и наноструктурирования НГУ
Первый этаж оснащён приточной вентиляцией с подогревом воздуха, очистной циркуляцией, вытяжной вентиляцией, локальной системой кондиционирования, централизованной системой охлаждения технологических установок.
Напылительные установки
На втором этаже ЦКП оборудованы помещения для аналитического оборудования нескольких физических лабораторий Института и НГУ.
Во вновь оборудованных помещениях расположены:
Рамановский Фурье–спектрометр
Технические характеристики спектрометра:
- длина волны возбуждения 1064 нм;
- диапазон измеряемых частот 50–3600 см-1;
- возможность измерения спектров КР в 90° и 180° геометриях;
- наличие двух портов для установки двух лазеров возбуждения;
- возможность регулировки положения исследуемого образца;
- высокая стабильность при сканировании;
- надёжность в эксплуатации.
Спектрофлюориметр Cary Eclipse
Прибор позволяет измерять спектры флюоресценции и возбуждения образцов различного типа (жидкости, твёрдые тела, порошки), обладает высоким спектральным разрешением до 1,5 нм (воспроизводимость 0,2 нм), широким спектральным диапазоном 200–900 нм, временным разрешением 1 мкс. Прибор имеет гибкие возможности настроек и расширения возможностей (установку дополнительного оборудования: криостат, термостабилизация и т. д.).