6. Комплекс микроструктурирования поверхности оптических материалов

Ответственный:
д. т. н. Корольков Виктор Павлович,
тел.: (383) 3333-091; факс: (383) 3333863;
e-mail: This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.

Общая характеристика:

Экспериментальный комплекс микроструктурирования поверхности оптических материалов обеспечивает возможность напыления покрытий, формирование микрорисунка фотошаблонов, микроструктуры рельефно-фазовых оптических элементов на поверхности оптических подложек.

Комплекс позволяет изготавливать фотошаблоны общего назначения, бинарные и многоуровневые дифракционные оптические элементы, конформальные корректоры аберраций лазерных кристаллов, травить кварцевые подложки на глубину до 5 мкм, напылять плёнки хрома и меди на подложки диаметром до 350 мм, изготавливать экспериментальные образцы прецизионных подложек, линз и призм, осуществлять резку оптических кристаллов.

Состав:

• Установка магнетронного напыления металлов АТС-220ОН;
• Установка реактивного ионного травления Plasmalab 80Plus;
• Круговая лазерная записывающая система CLWS-300IAE;
• Чистая комната участка фотолитографии с комплексом приборов микроскопического и профилометрического контроля;
• Оптический участок с комплексом технологического и метрологического оборудования по изготовлению уникальных оптических элементов.